超高真空鍍膜設備

一、核心參數：  

價格區間：200萬-300萬  

儀器種類：電子束蒸發鍍膜機  

產地類別：國產  

應用領域：微電子學  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：均一性<3%  

極限真空：<1E-9Torr  

二、約瑟夫森結超高壓系統：  

超高真空鍍膜設備專業制備約瑟夫森結制備，可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發室以及氧化室，共計四個高真空腔室，腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣，傳遞模組須采用抓取式設計；設備所有工藝均支持4英寸及以內的晶圓或不規則樣品。設備整個工藝過程，可以按照用戶設置的參數自動化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空，監測氣壓，離子清洗，樣品位置調節、傳樣，加熱，電子束蒸發特定厚度設置，自動調整氣壓等。  

三、廈門韞茂科技有限公司為您提供超高真空鍍膜設備QBT-J的參數、價格、型號、原理等信息，QBT-J產地為福建、品牌為韞茂，型號為QBT-J，價格為200萬-300萬RMB，更多相關信息可咨詢，公司客服電話7*24小時為您服務。  

四、售后服務：  

保修期：1年  

是否可延長保修期：否  

現場技術咨詢：有  

免費培訓：1.設備出廠前，提供至少2人一周的設備原廠培訓。2.設備在現場完成安裝調試  

免費儀器保養：有需要可安排

保內維修承諾：保修期內（除天災和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

報修承諾：質保期內出現故障時我司將及時響應，并在8小時內派技術人員到現場解決故障

五、技術參數：