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    雙腔室高真空等離子體PEALD系統是對ALD技術的擴展，通過等離子體的引入，產生大量活性自由基，增強了前驅體物質的反應活性，從而拓展了ALD對前驅源的選擇范圍和應用要求，縮短了反應周期的時間，同時也降低了對樣品沉積溫度的要求，可以實現低溫甚至常溫沉積，特別適合于對溫度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉積。

    訪問次數：1132
    產品價格：面議
    廠商性質：生產廠家
    更新日期：2023-11-24
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